SNE ALPHA
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SNE 4500M Plus
The Highest-end Tabletop SEM
I. Performance
1. Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써, 최대 15만배까지 영상을 관찰할 수 있는 경제적인 Tabletop-SEM입니다
2. 조건에 따라 쉽게 조작이 가능한 Variable Aperture 장착으로
3. 고 분해능인 5nm의 높은 Image Scan이 가능한 모델입니다.
- SE (Secondary Eletron): 요철에 의한 정보로 이미지 형성. 주로 표면현상 관찰로 가장 널리 사용
- BSE (BackScattered Eletron): 시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 형성
II. Convienience
| Motorized Stage | Auto Setting | Navigation Mode |
| X, Y, Z, R, T (Fully motorized) | Focus, Contrast, Brightness | Top View CCD Camera |
1. Tabletop SEM 유일 5축 구성으로 다양한 관찰이 가능합니다.
2. Motorized적용으로 화면에서 Double Click 이동이 가능하며, Navigation Mode 위치이동이 가능하여 측정 위치 찾기가 매우 편리합니다.
3. Tilting -45°~90° 사용으로 다양한 각도의 촬영 및 EDS 분석에 용이 합니다.
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1. Accelerating Voltage |
Max 30kV |
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2. Resolution |
Plus A : 5nm (30kV, SE Image) Plus B 5nm(SE), 8nm(BSE) |
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3. Magnification |
20x – 150.000x |
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4. Detector |
Plus A : SE(Secondary Electron) Plus B : SE/BSE(back Scattered Electron) *Dual Detector |
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5. Electron Gun |
Tungsten Filament |
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6. Aperture |
30, 50, 50, 100 µm |
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7. Display Mode |
2560x1920 |
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8. Stage Tranverse |
X: 40mm, Y:40mm, R: 360, Z: 0 – 40mm, T: 45 - 90. 5-axis motorized |
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9. Max. Sample Size |
80mm in Diameter x 35mm in Height |
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10. Vacuum Mode |
Plus A: High Vacuum Plus B: High&Low Vacuum (Multi) |
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11. Sample Load Time |
180 seconds |
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12. EDS System |
Bruker, Oxford – UK |
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13. Dimension |
390 x 737 x 590, 120Kg |
