X-eye SF160 Series
Detail View →
| Công suất X-ray | 120 kV / 200 µA |
|---|---|
| Độ phân giải | 0.2㎛ |
| Kích thước bàn | Bàn wafer loại 12 inch |
| Camera X-ray | Loại mặt camera 6 inch |
| Chế độ CT | Chế độ CT Nghiêng và CT Hình Nón |
| Kích thước | 2,380 x 1,450 x 2,120 mm. Hộp Điều Khiển : 600 x 1,250 x 1,030 mm |
| Trọng lượng | 7,000kg |
Máy X-ray Độ Phân Giải Nano
Ống phóng Nano với độ phân giải 400 nm, thích hợp cho các dây truyền sản xuất chất Bán Dẫn, Wafer. Trong lĩnh vực Đóng gói Wafer (WLP), nhà máy có yêu cầu kiểm tra khuyết tật ở cấp độ hạ nguyên tử.
Máy X-ray NF120 có khả năng truy dấu của khuyết tật nhờ chuyển động chính xác của các trục và hệ thống chống rung tiên tiến.
Máy cũng có khả năng Siêu Âm (Tomography) nếu được lắp thêm Mô-đun CT 3D và phần mềm kiểm tra khuyết tật tự động.
Máy có những ưu điểm sau:
- Hệ thống phân tích lỗi và chất lượng Wafer không phá hủy.
- Hình ảnh có độ phân giải cao nhờ chế độ CT kép
- Độ chính xác cao, khả năng phóng đại cực lớn
Ứng dụng máy X-ray NF120 trong thực tế sản xuất
Bọt khí trong Wafer
Bọt khí trong chân TSV
Applications
